1. 單晶矽晶圓:單晶矽晶圓是最常見的矽晶圓形式,由純度很高的單晶矽製成,用於製造各種電子元件,包括集成電路、電容器、感測器等。
2. 多晶矽晶圓:多晶矽晶圓由含有多個晶體的矽製成,但因其晶界存在不規則性,導致其電性能稍遜於單晶矽晶圓,多晶矽晶圓主要用於太陽能電池板製造。
3. SOI (Silicon on Insulator) 矽晶圓:SOI矽晶圓是在矽晶圓表面形成薄的氧化層,再在其上面生長一層很薄的矽層,主要用於製造高速、低功耗的微處理器和記憶體。
4. 碳化矽晶圓:碳化矽晶圓是由碳化矽材料製成,具良好熱傳導和耐高溫性能,廣泛應用於高功率電子器件、電力轉換器和汽車電子等領域。
5. 氮化矽晶圓:氮化矽晶圓由氮化矽材料製成,具良好耐高溫、高電壓和高頻特性,主要用於製造高頻功率放大器、射頻器件和LED等。