1. 質量流量計 mass flow controller: 質量流量計直接測量流體的質量流量,而不考慮流體的密度變化。這可以通過測量流體的熱量傳遞、振動或者使用質譜儀等方法實現。
2. 體積流量計 volumetric flow controller: 這種流量計基於測量流體通過管道的體積,常見的類型包括容積腔流量計,它使用一個容積腔室,當流體通過時,腔室的體積改變,從而計算體積流量。
3. 涡輪流量計 turbine flow controller: 涡輪流量計使用一個旋轉的涡輪,當流體通過時,涡輪被推動並旋轉。旋轉的速度與流體速度成正比,通過檢測旋轉速度可以計算體積流量。
4. 磁性流量計 magnetic flow controller: 磁性流量計利用法拉第感應原理,當導電性流體通過磁場時,產生電動勢。測量這個電動勢可以用來計算流體速度,進而計算體積流量。
5. 超聲波流量計 ultrasonic flow controller: 超聲波流量計使用超聲波在流體中的傳播速度來測量流速,它包括一對超聲波發射器和接收器,其中一個發射器發送超聲波,另一個接收器接收它們。流體流過時,波速的變化用於計算流速。
6. 旋翼流量計 Rotor flow controller:旋翼流量計通過測量旋轉的螺旋槳或旋翼的轉速來計算流體的體積流量。
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